SiC ceramics

A na-eji seramiiki SiC eme ihe karịa na ngwaọrụ semiconductor, ọkachasị n'ihi na ha na-adịte aka nke ọma n'ọnọdụ siri ike. Mgbe okpomọkụ dị elu ma ọ bụ usoro ahụ na-aka njọ, ihe dị ka quartz ma ọ bụ silicon nwere ike ịmalite igosi oke, ọ bụkwa ebe ahụ ka SiC na-abata. N'ime usoro ọkụ dị ka oxidation ma ọ bụ mgbasa, akụkụ dị ka ụgbọ mmiri wafer ma ọ bụ paddles emere site na SiC na-adịte aka. Ha na-anọgide na-adị ka ha ma ghara ibute nnukwu mmetọ, ọbụlagodi mgbe ha gbasịrị ogologo oge. Ndị mmadụ na-agbanwekarị site na quartz maka nke a, ọkachasị mgbe mmezi na-emekarị.

Maka ịcha ihe, a na-ahọrọkarị SiC nanị n'ihi na ọ na-adị ndụ na plasma ogologo oge. Ọdịiche ndụ ma e jiri ya tụnyere akụkụ silicon na-apụta ìhè n'ọtụtụ ntọala, ọ bụ ezie na ọ ka dabere na usoro kpọmkwem. Ọ na-enyekwa aka ntakịrị na njikwa ihe, nke na-aghọ ihe na-adịghị emetụ n'ahụ ka nodes na-ebelata. Ị ga-ahụkwa ka ejiri SiC mee ihe dị ka ihe na-egbochi okpomọkụ na MOCVD ma ọ bụ CVD. N'ọnọdụ ndị ahụ, ọ bụghị maka "ike" kama ọ bụ maka idobe omume okpomọkụ kwụsiri ike. E wezụga nke ahụ, ọ na-apụta n'ime akụkụ ụlọ dị ka liner ma ọ bụ shawaheads, na mgbe ụfọdụ na ijikwa akụkụ.