Ụgbọ Mmiri Wafer SiC Dị Ọcha Dị Elu

Ngwọta Ubi Okpomọkụ Kachasị Mma maka Ịkpụpụta 4-12 inch

Gịnị mere ụlọ ọrụ Fab na-eduga ji agbanwe site na Quartz gaa na SiC Boats?

Ka mma karịa quartz nke na-ada ada na 1150∘C n'ihi mgbanwe, ụgbọ mmiri SiC anyị na-ejigide nkenke geometric zuru oke n'okpuru nrụgide okpomọkụ dị oke njọ. N'ihi oke njupụta ya, matrix CVD SiC na-akwụsị mwụfu ihe dị n'ụzọ ya. E wuru ya kpọmkwem iji jikwaa mkpa 'efu-njem' nke usoro mmepụta sub-micron nke oge a.

Ihe ndị dị na ya na-ejikwa nhicha HF/HNO3 dị ike karịa quartz, na-adịte aka ma na-ebelata ọnụ ahịa nnọchi. Site na njikwa okpomọkụ kachasị mma maka ikpo ọkụ ngwa ngwa, ọbụnadị, ha na-enye nkwụsi ike usoro dị mkpa maka wafers nke dị sentimita 4 ruo sentimita 12 na mmepụta dị elu.

Nghọta ndị ọkachamara

N'adịghị ka ụgbọ mmiri graphite ọdịnala nke na-adabere nke ukwuu na mkpuchi elu, usoro nhazi SiC-on-SiC nke Semixlab na-ewepụ "nkwekọghị" nhazi dị n'etiti substrate na akpụkpọ ahụ. Site n'ịjikọta ọnụọgụ mgbasa n'ofe nkeji ahụ dum, anyị edozila isi ọwụwa ụlọ ọrụ na-adịghị ala ala nke delamination. Maka akwa akwa dị elu nke inch 8 na inch 12, nke a abụghị naanị nkwalite ihe onwunwe - ọ bụ mgbanwe TCO. Site na ndụ ọrụ karịrị quartz ọkọlọtọ ugboro ise, ụgbọ mmiri SiC siri ike anyị na-agbanwe ọnụ ahịa oriri ka ọ bụrụ ihe onwunwe mmepụta ogologo oge.

Nka nka na nhazi

Anyị nwere ike ịhazi ihe niile ka ọ dabara na ntọala ọkụ gị kpọmkwem—ma ọ bụ kwụ ọtọ ma ọ bụ kwụ ọtọ—ma dozie ya ka ọ dabara na mkpa njikwa wafer gị kpọmkwem.

Ngwa a na-ahụkarị 

E wuru ụgbọ mmiri SiC anyị maka ọnọdụ kachasị sie ike. Ha na-ejide ọdịdị ha nke ọma n'oge Si/SiC Epitaxy n'agbanyeghị na ha na-akpụ H2, ịdị ọcha ha dị elu bụkwa ihe na-azọpụta ndụ maka usoro mgbasa ebe mmetọ bụ ihe egwu. Maka ALD na LPCVD, ha na-arụ ọrụ dị ka oke okpomọkụ kwụsiri ike iji hụ na ihe nkiri ahụ na-abanye n'otu ebe n'ofe wafer niile.

Usoro nke usoro CVD maka mkpuchi ụgbọ mmiri SiC, na-ahụ na ịdị ọcha 7N na njupụta otu

1) 7N Ultra-High Purity (CVD Encapsulation) Kama mkpuchi nkịtị, anyị na-eji nnukwu njupụta CVD SiC iji mechie ịdị ọcha zuru ụwa ọnụ nke 99.99999%. Maka ngwaọrụ ike dị elu dị ka IGBTs na MOSFETs, nke a abụghị nhọrọ - ọ bụ naanị ụzọ isi gbochie ihe ndị na-adịghị ọcha ígwè (Fe, Ni, Cu) site na ịkpalite oke mmiri ozuzo.

2) Geometry nke e ji nhazi nke ọma rụọ. Anyị anaghị eme "otu nha dabara na ihe niile." Ma ịchọrọ oghere V nkịtị ma ọ bụ oghere U pụrụ iche maka njikwa wafer na-adịghị ike, nke dị gịrịgịrị, ebe etiti CNC anyị na-ejide nguzozi ruo ±0.05mm siri ike. Nke a dị oke njọ na-egbu mkpọtụ wafer na isi mmalite ma na-ebelata nrụgide n'akụkụ n'oge mbufe robot ọsọ ọsọ.

3) Usoro Ọrụ Kachasị Mma & Ndakọrịta CTE Isi ihe kacha njọ na ụgbọ mmiri ndị a kpuchiri ekpuchi bụ delamination. Anyị edozila nke a site n'ịgbanwe ike njikọ nke mkpuchi ahụ ka ọ yie nke ọma Coefficient of Thermal Expansion (CTE) nke substrate. Gịnị kpatara ya? Ụgbọ mmiri nke na-adịgide ndụ na-agbagharị okpomọkụ na-adịghị akwụsị akwụsị na oven Oxidation na Diffusion na-enweghị mkpuchi ahụ na-agbawa ma ọ bụ na-apụ apụ na ihe ndị dị na ya.