EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Wafers Piezoelectric PZT
Ka ọ na-eto ngwa ngwa nke nkwukọrịta 5G, ọgwụ ziri ezi, na ngwaọrụ ndị a na-eyi n'ụzọ amamihe, ọchịchọ ahịa maka transducers MEMS dị elu na ike dị ala na-arị elu. Wafers piezoelectric anyị (PZT na Si/SOI) na-eji usoro ntinye ihe dị gịrịgịrị dị elu iji nweta otu ihe pụrụ iche na njirimara piezoelectric dị elu na ihe ndị dị na silicon, na-eje ozi dị ka isi ihe dị mkpa maka mgbanwe ike electro-mechanical dị irè.
Description
Ọrụ Omenala
Na mgbakwunye na inye wafers PZT nke dị sentimita asatọ, anyị na-enye ikike nhazi sara mbara nke dabara na ihe ndị ahịa anyị chọrọ:
● Ụdịdị dị iche iche nke ihe ndị dị n'okpuru ala: Anyị na-akwado itinye ihe ndị dị n'ime Si wafers na SOI wafers (nwere ike iguzogide ihe karịrị 5000 ohm/cm).
● Nhazi Ihe Nkiri Dị Mkpirikpi: Enwere ike ịgbanwe ụdị ihe nkiri dị gịrịgịrị na ọkpụrụkpụ ya ka o wee mezuo nkọwapụta imewe.
● Nhazi dị mfe: Anyị na-enye ikike nhazi maka ụdị wafer nke dị sentimita isii na sentimita asatọ.
● Wafers Ndị Ahịa Na-enye: Anyị na-anabata ihe ndị ahịa na-enye maka uto nke ihe nkiri piezoelectric dị gịrịgịrị.
Onye Mmekọ Teknụzụ Gị: Anyị na-agba mbọ inye nkwado zuru oke—site na uto ihe ruo na nhazi nhazi. Ma ị nọ na ngalaba nyocha na nhazi ụlọ nyocha ma ọ bụ n'ọkwa mmepụta ihe dị ukwuu, ndị otu teknụzụ anyị dị njikere inye ngwọta piezoelectric kacha dabara na mkpa gị.
nkọwa
A na-eji usoro 6-inch na 8-inch emepụta ngwaahịa anyị a na-ahụkarị, nke nwere atụmatụ nhazi dị iche iche nke na-eme ka arụmọrụ kwụsie ike n'oge usoro mmepụta MEMS dị mgbagwoju anya.
Paramita nhazi oyi akwa (Isi nke 8 nke ọkọlọtọ)
| Layer | ọkpụrụkpụ | Note |
| Electrode kacha elu | ahaziri | Elektrọd dị elu |
| Ibe Piezo | ahaziri | Ibe Piezoelectric Core |
| Ihe nchekwa oyi akwa | ahaziri | Akwa Njikwa Nhazi Ọka |
| Ala Electrode | 100 nm ± 10% | Electrode dị ala |
| oyi akwa nrapado | ahaziri | oyi akwa nrapado |
| Mkpụrụ | ahaziri | Nhọrọ nke 4/6/8-inch dị |
Ihe ngosi arụmọrụ dị mkpa (àgwà)
● Piezoelectric Constant (d31): 200 pC/N — Na-eme ka mmepụta nke igwe na-agbanwe agbanwe dị irè nke ukwuu.
● Piezoelectric Coefficient (e31): −15 C/m² — Na-enye nzaghachi ọkụ eletrik dị oke nro.
● Nha nhata dị elu: E gosipụtara ya site na nyocha XRD diffraction, ihe nkiri PZT na-egosipụta nhazi siri ike (100), na-ahụ na arụmọrụ ya dị oke mma n'ofe wafer dum.
| Njirimara PZT | Polycrystal PZT |
| Piezoelectric na-agbanwe agbanwe d31 | 200 pC/N |
| ọnụọgụ piezoelectric e31 | -14 C/m² |
| Curie okpomọkụ | X℃ |
Foto SEM na XRD
ngwa
Ebe Ise dị Mkpa maka Ngwa
1. Piezoelectric Ultrasonic Transducers (pMUT)
Iji ihe nkiri PZT dị gịrịgịrị nke piezoelectric dị elu na-eme ihe iji mepụta usoro ultrasonic dị obere nke na-agbanwe agbanwe ugboro ugboro. A na-etinye ya n'ọtụtụ ebe na njirimara mkpịsị aka na-egosighi ihe ngosi, mmetụta mmegharị ahụ, na sistemụ radar ultrasonic nke ụgbọala.
2. Nzacha na Nkwukọrịta RF (RF MEMS)
Na sistemụ nkwukọrịta 5G na 6G, ihe piezoelectric dị elu dị oke mkpa maka imepụta nzacha FBAR na SAW, na-eme ka bandwidth sara mbara na mbelata mfu ntinye.
3. MEMS akustik (Okwu/Maịkrofon)
Inye ndị na-ekwu okwu MEMS ike site na nzaghachi nwa oge dị elu na ọkwa nrụgide ụda (SPL), ebe n'otu oge ahụ na-eme ka usoro Signal-to-Noise Ratio (SNR) nke igwe okwu MEMS dịkwuo elu iji mee ka ndekọ ọdịyo dị elu.
4. Njikwa Mmiri Nkịtị (Inkjet Printheads)
Iji mkpọtụ ọsọ ọsọ dị elu na ụdị d31 iji nweta nhazi ọkwa nanoliter na njikwa olu ink droplet; na-eje ozi dị ka ihe na-eme ka ihe rụọ ọrụ nke ọma maka sistemụ mbipụta inkjet dị elu na ọkwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
5. Ịma mma ahụike na obere mgbapụta
Na-akwalite nebulizers ahụike na ọkpọkọ ultrasonic mara mma. Site na iji obere nha na ntụkwasị obi dị elu nke ihe nkiri PZT dị gịrịgịrị, anyị na-eme ka atomization dị irè na nnyefe ziri ezi nke ọgwụ mmiri mmiri.
