Nnwale Ike Nrapado na Ihe Ize Ndụ nke Mkpụcha CVD TaC

Maka mkpuchi pụrụ iche na graphite, CVD TAC na Cvd sic mkpuchi Akụkụ nke igwe na-emepụta chip dị elu, arụmọrụ nke mkpuchi ahụ na akụkụ ahụ dị mkpa karịa ndụ nke akụkụ ndị ahụ. Njikọ na-adịghị ike na-akpata obere mgbawa na mkpụcha na usoro okpomọkụ na oyi, na-emepụta ihe ndị na-emerụ ahụ ma ọ bụ nchebe na-adịghị mma na ọdịda nke usoro ahụ. Ọtụtụ akụkụ na-adị mma mgbe ha malitere na ụlọ ọrụ mmepụta ihe, nsọtụ ya na-apụkwa mgbe ejiri ya ọtụtụ oge. Ya mere, a ga-anwale ike njikọ ahụ tupu akụkụ ndị ejiri na ụlọ ọrụ mmepụta ihe iji zere ọdịda a na-atụghị anya ya na igwe ndị ahụ.

Nnwale Nrapara Ọkọlọtọ maka Mkpuchi CVD TaC na Ihe Ndị Dị na Graphite

Iji chọpụta ike dị na ya, a na-eme ọtụtụ ule dị mma n'ụlọ ọrụ mmepụta ihe; nke mbụ bụ ule ọkọ. N'ebe a, a na-ese nsọtụ dayamọnd n'elu mkpuchi ahụ n'okpuru ike na-abawanye, ọ bụrụ na ihe nkiri ahụ agbawa, gbawaa ma ọ bụ wepụ ya na oyi akwa graphite n'oge na-adịghị anya, ọ na-egosi na ọ naghị ejikọta nke ọma. Nke a bụ ule dị mfe mana ọ na-egosi nsonaazụ doro anya tupu akụkụ ndị ahụ abanye ọrụ.

Nnwale ọzọ dị ngwa bụ ule teepu ebe a na-etinye teepu nrapado na fim ahụ wee dọpụta ya; ọ bụrụ na flakes ewepụ ya na teepu ahụ, njikọ ya na ntọala graphite nwere ike ịdị ike. Nke a bụ nnwale mbụ ngwa ngwa a na-eji na ụlọ nyocha tupu e mee nnwale siri ike karị.

Ịkpo ọkụ na oyi ugboro ugboro na-ewu ewu nke ukwuu, n'ihi na usoro a na-eṅomi nke e ji eme ihe n'ezie. Mkpuchi siri ike anaghị enwe mmetụta ọjọọ ọ bụla, ebe mkpuchi ndị na-adịghị ike na-amalite ịgbaji ma ọ bụ gbajie n'ọnụ. N'otu ọnọdụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe, mkpuchi ndị ahụ dara na nlele nke abụọ mgbe e kpochara ha ọkụ ugboro ugboro (na-agbapụta n'ọnụ) mana nke a bụ n'ihi mmetọ nke ihe mkpuchi ahụ tupu e tinye ya.

Nnwale ịdọpụ (ebe a na-arapara stud na mkpuchi ahụ ma dọpụta ya ruo mgbe ihe mkpuchi ahụ dọpụrụ na ya) bụ ule ọzọ, nke na-enye uru na continuum, dị mma maka ntụnyere nke otu ihe mana ọ nwere ike were oge dị ukwuu iji mee ya. A na-eji nnwale ndọpụ ahụ eme ihe dị ka nnwale anya na nke a na-apụghị ịgụta ọnụ, ebe a na-etinye isi siri ike n'ime mkpuchi ahụ ma tụọ oke mgbawa ahụ. Ọ bụrụ na emee ya nke ọma, ule ndị a na-ahụ na mkpuchi ahụ dị mma.

Ihe ịrịba ama ịdọ aka ná ntị mbụ nke mkpuchi TaC na-akpụ akpụ na ngwa Epitaxy

Ụdị igwe ndị a nwere obere oge ebe mmebi mkpuchi ahụ na-eme na mberede. Ọtụtụ mgbe, obere mgbanwe na-eme na akụkụ ahụ, nke ahụ anaghị apụta ìhè. Mgbanwe agba nke mkpuchi ahụ na-apụta n'oge. Mkpuchi ọhụrụ kwesịrị ịpụta ìhè ma dị ire ụtọ mana n'okpuru nrụgide ụfọdụ akụkụ na-adị ka agba na-adịghị mma, karịsịa n'akụkụ, nkuku na ebe nwere oke okpomọkụ.

Ọtụtụ mgbe, a na-enwekarị obere ihe na-ebuli akụkụ nke na-adị ka ihe mkpuchi kwụ ọtọ n'ókèala ma ọ bụrụ na a hụ ya n'ìhè n'akụkụ kwesịrị ekwesị ma ọ bụ n'ọkwa dị elu. N'otu ahịrị ụlọ ọrụ mmepụta ihe, onye ọrụ nhicha hụrụ obere ájá dị n'akụkụ nsọtụ akụkụ ahụ, wee hụ na mgbawa amalitelarị n'akụkụ.

Mgbawa ntutu isi na-egosikwa nsogbu. Mgbawa mbụ ahụ dị mma ma dị elu ma na-apụta n'ebe nrụgide okpomọkụ na-arị elu, na-emesịa jikọọ iji mepụta nnukwu mpaghara nke mgbawa ma ọ bụrụ na a rụzighị mgbawa ahụ. Ihe ngosi ndị ọzọ dị nro gụnyere mmụba nke obere ihe ma ọ bụ uzuzu n'ime ụlọ ahụ.

Ọ bụ ezie na enweghị ntụpọ ọ bụla a na-ahụ na mkpuchi ahụ, ihe ndị dị n'ime ya nwere ike ịpụta ìhè n'elu mkpuchi ahụ mgbe a na-arụ ọrụ, a pụkwara ịhụ ya na ihe nlele tupu ọdachi emee. Nrụgide nwere ike ịbawanye, ebe mkpuchi dị nro na-etolite ọdịdị dị ka ihe nkpuchi n'ihi mmebi nke elu mkpuchi ahụ.

Ebe ọ bụ na obere ntụpọ dị n'akụkụ ọnụ nwere ike ịghọ nnukwu ọdịda nke na-emebi ịdị mma ma chọọ ka igwe kwụsị ọrụ, ịchọpụta ihe ngosi mbụ ndị a dị mkpa.

Mmetụta Ịgbagharị Okpomọkụ na Akụkụ Epitaxial nke ejiri CVD TaC kpuchie

Ebe ọ bụ na a na-ekpo ọkụ ma na-ajụ oyi ugboro ugboro n'ehihie, nrụgide siri ike na-apụta na mkpuchi ahụ n'oge. Mgbe ihe ndị ahụ dị ọkụ, mkpuchi ahụ na graphite na-agbasa, mana na ọnụego dị iche iche. Ya mere, okirikiri okpomọkụ ọ bụla na-etolite nrụgide n'etiti ihe abụọ ahụ na njikọ. Mgbe ihe ahụ dị jụụ, nrụgide ahụ na-agbanwe n'ụzọ ọzọ. Otu okirikiri okpomọkụ na oyi agaghị emebi ihe ọ bụla, mana n'oge ọtụtụ narị usoro dị otú ahụ, obere nrụgide dị n'ime na-etolite.

Mkpuchi ahụ ga-adị nro ma kwụsie ike, mana mgbe mgbanwe okpomọkụ gasịrị, obere ebe nrụgide ga-apụta n'akụkụ dị nkọ ma ọ bụ na-ekpo ọkụ na-adịghị mma. Etiti ihe ahụ ga-anọ ogologo oge, mpụta ihe ahụ ga-emebi emebi n'ime ngwaọrụ ndị dị adị. Obere mgbawa dị n'ọnụ ihe mejupụtara ya bụ ihe atụ a na-ahụkarị, mgbe ejiri ya ọtụtụ oge, ọ ga-etolite n'ọnụ ma malite itolite ka nrụgide na-amanye ya ịgbawa mgbe okirikiri okpomọkụ ọ bụla gasịrị, obere ntụpọ ga-apụkwa.

Site na ikpo ọkụ na oyi ugboro ugboro, ihe mkpuchi dị n'ime ahụ na-emebi emebi, nke mere na ihe ole na ole ga-agafe ule mbụ ahụ, mana mgbe ejiri ya ogologo oge (ọtụtụ ọnwa) ka ga-emebi emebi. N'otu oge, akụkụ amalitela ịpụ apụ mgbe usoro narị ole na ole gasịrị n'ihi ikpo ọkụ ngwa ngwa na-akpata nnukwu nrụgide kama ikpo ọkụ nwayọ.

Ụzọ Tupu Ọgwụgwọ Elu Elu Iji Mee Ka Ike Njikọta Mkpuchi Ka Mma

E nwere nkwadebe dị mkpa a ga-eme na akụkụ graphite tupu e tinye ụdị mkpuchi ọ bụla ka oyi akwa ahụ wee jikọta ya. Nkwadebe na-adịghị mma na mkpuchi dị mma ga-eme ka mkpuchi ahụ daa ngwa ngwa. Nhicha miri emi nke akụkụ graphite bụ otu akụkụ nke nkwadebe a. Graphite na-ejide uzuzu dị nro, mmanụ fọdụrụ, ma ọ bụ ihe ndị na-arụ ọrụ n'ime oghere ya ngwa ngwa. Ihe ndị a na-egbochi mkpuchi ahụ imetụ aka ozugbo na ntọala ya.

Ọbụna obere ihe e ji mmanụ mee ga-emepụta ebe ndị na-adịghị ike n'ime njikọ ahụ, nke ga-aghọ ebe a ga-amalite ịkpụcha ihe ndị ahụ. A na-ejikarị ihe nhicha pụrụ iche eme ihe ma ọ bụ mgbe ụfọdụ a na-etinye akụkụ ahụ n'ime ọkụ iji wepụ ihe fọdụrụ n'ime ya.

Ihe ọzọ bụ ijide n'aka na elu ahụ dị ntakịrị ka o wee sie ike iji mee ka ihe mkpuchi ahụ sie ike karịa ma ọ bụrụ na elu ahụ dị larịị nke ọma. A na-enweta nke a site n'iji ájá ma ọ bụ iji ngwaọrụ igwe mee ihe iji nweta elu njide siri ike mana kwụsiri ike ka mkpuchi ahụ wee "jikọta" ya na igwe, ma ọ bụ site na iji ọgwụgwọ plasma nke na-atụba elu graphite ahụ obere oge na gas iji mee ka ọ rụọ ọrụ ma mee ka ọ dị ka ihe mkpuchi ahụ ma na-eme ka ọ dakọọ na ihe mkpuchi ahụ ebe ọ naghị enwe mmetụta ọjọọ na ọdịdị substrate ahụ.

A na-eji ọgwụgwọ okpomọkụ nke akụkụ graphite eme ihe tupu e kpuchie ya, ebe ọ bụ na ime achịcha nke akụkụ nwere okpomọkụ dị elu nwere ike ịchụpụ gas ndị a dọbara n'ime ihe ahụ. Gas ndị a nwere ike ịpụpụ mgbe a na-etinye mkpuchi, na-emepụta ebe kacha mma maka ebe na-adịghị ike ma ọ bụ ọnya dị n'okpuru mkpuchi ahụ. A na-ejikọta usoro ndị a ọnụ.

Nnyocha ọdịda nke mgbaaka mkpuchi TaC ejiri mee ihe na sistemụ LPE (ASM)

Mgbaaka graphite a kpụchara akpụ na-arụ ọrụ n'ọnọdụ dị oke njọ gụnyere oke okpomọkụ, oke ikuku gas, na usoro okpomọkụ. Usoro ọdịda nke mgbanaka graphite a kpụchara akpụ na-abụkarị ihe a na-ejikọkarị na nrụgide mkpuchi, ịdị mma elu na ike ọgwụgwụ okpomọkụ.

Mkpọchi akụkụ ebe mkpuchi na-esikarị n'akụkụ akụkụ dị nkọ na akụkụ dị gịrịgịrị apụta ka ha na-ajụ oyi ma na-ekpo ọkụ ngwa ngwa ma e jiri ya tụnyere akụkụ buru ibu. Mgbe ebidochara ebuli elu ahụ n'akụkụ, ihe a na-etolite dị ka zipa mepere emepe n'akụkụ ọnụ.

Obere ntụpọ nwere ike ime n'elu ime ebe gas na-esi ike karị ma na-emepụta ebe ndị na-ekpo ọkụ n'ógbè ahụ. A chọtara otu obere ájá ojii n'otu sistemụ nke jikọtara ya na mgbawa dị nro na mgbidi dị n'ime nke mgbanaka ahụ. Ndahie njikọ njikọ bụ usoro ọzọ dị mkpa; a na-ekwu na njikọ na-adịghị ike n'okpuru oyi akwa ahụ bụ n'ihi nnukwu ebe a na-ewepụkarị site na elu nke a na-ehichaghị nke ọma ma ọ bụ gas ndị a dọbara na njikọ ahụ nke na-agbasa.

N'aka nke ọzọ, ịgbagharị okpomọkụ ngwa ngwa na-akpata oke okpomọkụ nke nrụgide okpomọkụ nwere ike ịgbakọta ngwa ngwa na njikọ mkpuchi/isi. N'otu usoro mmepụta, mgbanaka na-adịru naanị ọnwa ole na ole. Ọ bụ ezie na ọ dị ka ihe nkịtị na mbụ, ọkwa irighiri ihe na-amụba nwayọ nwayọ, mgbe ewepụrụ ya, akụkụ buru ibu nke mkpuchi ahụ agbawaala n'akụkụ ebe njikọ ahụ.

Nsogbu a sitere na ikpo ọkụ na-adịghị otu na nhicha dị mma tupu e kpuchie ya. Ọ bụ ezie na mmebi ndị ahụ na-esikarị n'obere ntụpọ ka oge na-aga, nyocha mgbe niile na okpomọkụ okpomọkụ kwụsiri ike nwere ike ịbụ ezigbo ihe mgbochi megide ọdịda nke ụdị a.