SiC seramiiki akpụkpọ ahụ

N'imepụta semiconductor dị elu, SiC Ceramic Membrane na-eje ozi dị ka akụrụngwa multifunctional nke na-emetụta nkwụsi ike usoro ozugbo, ịdị n'otu wafer, yana arụmọrụ mkpụrụ n'ozuzu ya. N'ime CVD, MOCVD, na sistemu PECVD, ọ na-arụ ọrụ dị ka interface dị oke mkpa n'etiti gas na-eme ihe na gburugburu mmeghachi omume, na-ahụ maka njikwa ziri ezi nke ike na-asọpụta, nguzozi ọkụ, na mmechi mmetọ.

Site na ihe owuwu ya na-acha odo odo nke ukwuu, akpụkpọ ahụ SiC na-akwalite laminar na nnyefe gas na-ekesa n'ofe n'elu wafer. Ebe a na-asọpụta otu a na-ebelata ọdịiche dị na mpaghara na ntinye uche nke mbụ, si otú a na-eme ka ịdị n'otu ihe nkiri dịkwuo n'otu na nkwekọ mejupụtara ya n'oge ntinye epitaxial ma ọ bụ dielectric. N'otu oge ahụ, akpụkpọ ahụ nke ọma pore Ọdịdị na-arụ ọrụ dị ka ihe dị irè elu-okpomọkụ urughuru filter, akada condensates, carbon residues, na submicron particulates tupu ha eru na-arụ ọrụ wafer zone-ihe dị mkpa na mbenata njupụta njupụta na ịnọgide na-enwe elu ngwaọrụ pụrụ ịdabere.

Na-agafe eruba na nzacha, SiC ceramic matrix na-enye ihe mgbochi ọkụ na kemịkalụ siri ike n'ime ụlọ usoro. Ọ na-ekewapụta ihe ndị na-emetụ n'ahụ n'ụdị na-emeghachi omume, na-ebelata mmetọ azụ, ma na-echekwa ịdị ọcha nke ụlọ n'oge usoro mmepụta ihe agbatịkwuru. Na mpaghara iyuzucha, enwere ike iji otu teknụzụ akpụkpọ ahụ mee ka nrụgide kwụsie ike na ọnyà ngwaahịa ndị fọdụrụnụ, na-enye aka na ahịrị iyuzucha ọcha na ogologo oge mmezi.

Site na ijikọ ọrụ ndị a n'ime otu akụrụngwa na-adịgide adịgide, SiC Ceramic Membrane abụghị naanị na-eme ka arụmọrụ arụ ọrụ nke CVD na MOCVD na-arụ ọrụ mana na-emekwa ka ọnọdụ kwụsiri ike na nke enwere ike imegharị ya - nke na-ezute ịdị ọcha siri ike na arụmọrụ chọrọ nke nrụpụta semiconductor nke ọgbọ na-abịa.

Kedu ka esi emepụta akpụkpọ anụ seramiiki SiC