EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ụgbọ mmiri SiC Wafer dị elu
Dị ka onye na-eduga ndị na-emepụta China na onye na-ebubata ụgbọ mmiri SiC Wafer dị elu, Semixlab's Silicon Carbide wafer ụgbọ mmiri na-ejikarị eme ihe na njikọ usoro dị ka LPCVD, oxidation na annealing n'ihi nkwụsi ike ya dị mma, nkwụsị corrosion na ike ígwè. Ọ bụrụ na ị na-achọ ụgbọ mmiri SiC Wafer nke nwere ike belata mmetọ ahụ, gbasaa ndụ ọrụ ma hụ na nchekwa wafer, ngwaahịa a ga-abụ ezigbo nhọrọ gị.
Description
N'ihe gbasara imepụta semiconductor, usoro okpomọkụ dị elu na-ebute nnukwu ihe ịma aka nye ndị na-ebu wafer. Mgbe okpomọkụ karịrị 1600 ℃, onye na-ebu quartz omenala (wafer ejiri quartz ụgbọ mmiri) na-amalite ime ka ọ dị nro na nrụrụ ma hapụ ihe ndị na-emerụ emerụ, na-eme ka ọnyà wafer na-arị elu.
Ụgbọ mmiri SiC Wafer dị elu, nke nwere uru ihe onwunwe sitere na silicon carbide (SiC), na-edozi isi ihe mgbu ụlọ ọrụ a kpamkpam wee ghọọ ngwá ọrụ dị mkpa maka ịmepụta semiconductor dị elu, karịsịa mmepụta ngwaọrụ SiC.
nkọwa
Njirimara anụ ahụ isi na paramita teknụzụ nke ngwaahịa:
| Ndị na-egosi arụmọrụ | Ụgbọ mmiri SiC Wafer dị elu | Onye na-ebu quartz omenala | Uru emelitere |
| Oke kachasị arụ ọrụ | 1800°C (na-aga n'ihu) / 2000°C (elu) | 1200 ° C | 50% kwalitere nguzogide okpomọkụ |
| Omume nke na-ahụ maka ahụike | 4.9 W/cm·K (ọnụ ụlọ okpomọkụ) | 1.5 W/cm·K | Ịkwasa ọkụ ọkụ gbagoro site na 226% |
| Coefficient nke kwes mgbasa | 4-5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | Nkwụsi ike nke okpomọkụ mere ka ọ dịkwuo ugboro asaa |
| Ekweghị ekwe | Mohs 9.2 (nke abụọ bụ naanị diamond) | Mohs 7 | Ugboro iri atọ emelitere nguzogide iyi |
| Nchegbu ebe kọntaktị Wafer | <5 MPa (mgbochi mwepu imewe) | > 20 MPa | Ọnụego mwepu wafer belatara site na 80% |
| Ntọhapụ urughuru | 0 iberibe/cm² (Klas 100 ịdị ọcha) | > 50 iberibe / cm² | Mmetọ dị nso na efu |
Ọmarịcha arụmọrụ nke silicon carbide wafer carrier (SiC Wafer Carrier) sitere na akụrụngwa sayensị pụrụ iche ya. N'okpuru bụ ntụle zuru ezu nke paramita anụ ahụ isi:
Paragraf ndị a na-asụgharị ozugbo ka ọ bụrụ mkpụrụ dị mma yana mbelata ọnụ ahịa n'ichepụta semiconductor, dị ka egosiri na ndị a:
Uru arụmọrụ okpomọkụ: SiC's wide bandgap (3.26 eV) na-eme ka o doo anya na ọ na-edobe usoro kristal kwụsiri ike na 2000 Celsius ma na-ezere nrụrụ ọkụ. Igwe ọkụ ọkụ dị elu (4.9 W / cm · K) na-enye ohere ka ọkụ ọkụ na-ekpo ọkụ karị ma wepụ ntụpọ lattice nke nrụgide okpomọkụ kpatara.
Mechanical ike: 9.2 Mohs hardness na-eguzogide mmetụta anụ ahụ n'oge usoro ahụ, na ndụ ọrụ karịrị 10 ugboro nke ndị na-ebu quartz omenala. Nhazi oghere semicircular pụrụ iche na-achịkwa nrụgide kọntaktị wafer dị n'okpuru 5MPa, na-ewepụ ihe nhụsianya dị elu nke okpomọkụ.
Inertness kemịkalụ: Ịnagide gas na-emebi emebi dị ka HF na HCl karịrị awa 10,000, yana mmetọ efu ka edobere na LPCVD, mgbasa, oxidation na usoro ndị ọzọ.
ngwa
Ọrụ dị mkpa nke High Purity SiC Wafer Boat
A na-eji ụgbọ mmiri SiC Wafer anyị dị ọcha mee ihe na usoro nrụpụta semiconductor ndị a:
Ọkụkụ dị elu: N'ahịrị mmepụta nke onye na-emepụta sic wafer, ikpo ọkụ na-ekpo ọkụ bụ isi ihe iji mee ka dopants rụọ ọrụ na ịrụzi ntụpọ lattice. Nkwụsi ike nke okpomọkụ dị elu nke ụgbọ mmiri wafer SiC na-eme ka ọ bụrụ otu na ịdị irè nke usoro nkwụsịtụ.
Uto Epitaxial: Ma ọ bụ epitaxy nke dabeere na silicon ma ọ bụ silicon carbide wafer epitaxy, nguzogide okpomọkụ dị elu na nguzogide corrosion nke ụgbọ mmiri SiC wafer na-eme ka ọ bụrụ ezigbo ihe na-ebu iji hụ na uto epitaxial dị elu.
Mgbasa: N'ime ọkụ na-ekesa okpomọkụ dị elu, ụgbọ mmiri SiC wafer na ụgbọ mmiri wafer LPCVD nwere ike iguzogide ọgwụgwọ okpomọkụ dị ogologo oge iji hụ na mgbasa nke doping atoms wee mepụta ezigbo ọkụ eletrik.
Nkwụnye ihe nkiri dị obere: Karịsịa maka ngwa ụgbọ mmiri Lpcvd wafer, mkpofu ihe dị oke ala na ezigbo okpomọkụ nke ụgbọ mmiri SiC wafer na-enyere aka inweta ihe nkiri dị elu, nke dị elu.
Ngwa dakọtara na ndakọrịta usoro:
✔ Dakọtara na ọkụ ọkụ LPCVD bụ isi (dịka TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar, wdg)
✔ Nkọwapụta wafer dị ka 100mm / 150mm / 200mm
✔ Na-akwado kehoraizin na vetikal usoro echichi
Semixlab's SiC wafer ụgbọ mmiri bụ ezigbo nhọrọ iji melite arụmọrụ usoro gị yana mkpụrụ ngwaahịa, yana onye ndu na ngwọta ụgbọ mmiri Semiconductor dị elu.
anyị Ọrụ
Ụlọ ahịa ngwaahịa Semixlab
Ụlọ ahịa ngwaahịa Semixlab
