Quartz Diffusion Tube

Semixlab's Quartz Diffusion Tubes bụ ihe dị ọcha dị elu, akụrụngwa quartz kwụsiri ike nke emebere maka mgbasa, oxidation, na usoro mgbakasị ahụ na nrụpụta semiconductor. Emebere ya ka ọ rụọ ọrụ n'okpuru ọnọdụ okpomọkụ dị oke egwu, tubes ndị a bụ ihe dị mkpa na sistemu ọkụ kwụ ọtọ na kwụ ọtọ ejiri na sel anyanwụ.

Ⅰ. Ihe mejupụtara

A na-eme tubes mgbasa ozi anyị site na 99.995% silica fused dị ọcha (SiO₂), sitere na ndị na-ebubata akụrụngwa dị elu ma na-esikwa ya site na iji usoro ikpo ọkụ na-ekpo ọkụ. Nke a na-eme ka nkwụsi ike pụrụiche na ujo ọkụ, nkwụsi ike kemịkalụ, yana mmetọ ionic pere mpe - ihe ndị dị mkpa maka idowe mkpụrụ wafer na iguzosi ike n'ezi ihe akụrụngwa.

● Ihe: Silica Fused Sịntetik Dị Ọcha

● Ọkwa adịghị ọcha: ≤10 ppm (adịghị ọcha ọla)

● Ọdịdị Crystal: Amorphous

Ⅱ. Ngwa dị egwu na nhazi Semiconductor

Semixlab's Quartz Diffusion Tubes dị mkpa n'ọtụtụ usoro nrụpụta semiconductor dị oke mkpa, na-arụ ọrụ dị mkpa n'inweta akụrụngwa ihe achọrọ na arụmọrụ ngwaọrụ:

Usoro mgbasa ozi

N'ime ọkụ mgbasa ozi, tubes anyị na-eje ozi dị ka ụlọ mmeghachi omume ebe a na-ewebata adịghị ọcha dopant (dịka, boron, phosphorus, arsenic) n'ime wafers semiconductor na okpomọkụ dị elu. Ọkpụkpọ ahụ na-enye ebe a na-emechi emechi nke ọma, ebe enweghị mmetọ maka njikwa kpọmkwem profaịlụ doping. Nkwụsi ike ha na-ekpo ọkụ na-eme ka nkesa okpomọkụ dị otu, na-eduga na ntinye dopant na-agbanwe agbanwe na ịgbalite, nke dị oké mkpa maka ịkọwapụta àgwà eletriki ngwaọrụ.

Usoro Oxidation

N'oge oxidation thermal, silicon wafers na-ekpughere oxygen ma ọ bụ vepo mmiri na okpomọkụ dị elu n'ime tube quartz iji too obere oyi akwa silicon dioxide (SiO₂). oyi akwa SiO₂ a na-arụ ọrụ dị ka ọnụ ụzọ dielectric, oyi akwa dịpụrụ adịpụ, ma ọ bụ oyi akwa passivation. Ịdị ọcha dị elu na nkwụsi ike nke tubes anyị bụ ihe kachasị mkpa ebe a, ebe ha na-emetụta kpọmkwem ịdị n'otu, ọkpụrụkpụ, na àgwà eletriki nke oyi akwa oxide, nke bụ isi maka ịrụ ọrụ ngwaọrụ na ntụkwasị obi.

Usoro mmechi

A na-eji annealing rụkwaa mmebi lattice kristal kpatara site na ntinye ion na iji rụọ ọrụ dopants etinyere. Ọkụ quartz anyị na-enye ebe okpomọkụ dị elu dị ọcha ma na-achịkwa nke dị mkpa maka usoro mgbakasị ndị a. Ngwongwo ọkụ dị mma nke quartz na-eme ka ọgwụgwọ okpomọkụ dị n'ofe wafer, na-eduga na mbelata ntụpọ dị mma na ezigbo ọrụ dopant, nke na-eme ka njirimara eletriki ngwaọrụ dịkwuo elu na nkwụsi ike ogologo oge.