SiC Ceramic Crucible

SiC Ceramic Crucible na-eje ozi dị ka ihe njide dị oke egwu na arịa mmeghachi omume n'ime usoro dị ka SiC na uto kristal GaN, ntinye epitaxial, mgbasa, na mgbakasị okpomọkụ - ebe ịdị ọcha, nkwụsi ike na ịdị n'otu okpomọkụ na-ekpebi kpọmkwem mkpụrụ wafer na ogo kristal.

Njirimara ihe onwunwe

● Ihe mejupụtara: SiC ma ọ bụ CVD-SiC siri ike dị ọcha (≥99.9%)

● Njupụta & Microstructure: Okpokoro zuru oke, nke ọma na ihe na-adịghị mma maka enweghị ike ikuku gas.

● Thermal Stability: Nrụ ọrụ dị mma ruo 2000 ° C na ikuku ikuku ma ọ bụ ikuku gas.

● Ọrụ okpomọkụ: 120-200 W / m·K, na-eme ka otu okpomọkụ dị elu.

● Nguzogide nrụrụ: Nkwụsi ike pụtara ìhè na ikuku hydrogen, chlorine, na gas usoro halogen.

● Emecha n'elu: A na-egbutu enyo na plasma ka o wee belata mkpụrụ irighiri ihe

Ngwa ndị dị mkpa na nrụpụta Semiconductor

SiC Ceramic Crucible na-arụ ọrụ dị mkpa n'ọtụtụ ọkwa nrụpụta semiconductor, gụnyere:

1. Crystal Growth na epitaxy

Ejiri ya na PVT (ụgbọ njem anụ ahụ nke anụ ahụ) na sistemu epitaxial CVD, SiC crucibles na-enye akpa kwụsiri ike, anaghị arụ ọrụ maka ihe isi mmalite na kristal na-eto eto.

Ịdị ọcha ha dị elu yana ọnụ ahịa mgbasawanye ọkụ dakọtara na-ebelata mmetọ na nchekasị, na-eme ka e guzobe kristal enweghị ntụpọ maka mkpụrụ SiC, GaN na Ga₂O₃.

2. Mgbasa na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ na-ekpo ọkụ

Na ọgwụgwọ okpomọkụ, mgbasa, na usoro oxidation, SiC crucibles na-ejigide ọdịdị ha na iguzosi ike n'ezi ihe kemịkalụ n'okpuru ịgba ígwè dị oke egwu, na-egbochi mwepu na ntọhapụ nke nwere ike imebi àgwà wafer.

3. Ihe eji eme ihe na nhazi ntụ ntụ

SiC crucibles dịkwa mma maka semiconductor-grade powder sintering, na-enye oke ọkụ kemịkalụ inertness na nkwụsi ike akụkụ n'okpuru oghere ma ọ bụ ọnọdụ ikuku na-achịkwa.

Uru nke Semixlab

Na Semixlab Semiconductor, anyị na-enye ihe karịrị naanị akụrụngwa - anyị na-ebuga azịza injinia zuru oke iji gboo mkpa siri ike nke nrụpụta semiconductor.

1. ahaziri Design

● Geometry, ọkpụrụkpụ, na nhazi ntinye gas ahaziri ahazi.

● Dakọtara na nnukwu ibu kristal na sistemụ CVD (LPE, PVT, AIXTRON, Veeco, wdg).

2. Nkà na ụzụ ndụmọdụ

● Ndị ọkà mmụta sayensị na ndị injinia na-arụ ọrụ n'ime ụlọ nwere ihe karịrị afọ 20 nke ahụmahụ ụlọ ọrụ.

● Nkwado maka nhazi okpomọkụ, ịmegharị ikuku gas, na nhazi usoro.

3. Nkwenye ịdị mma tupu ebuga

● A na-enyocha crucible nke ọ bụla n'ụzọ ziri ezi, nnwale leak nke helium, yana nyocha ịdị nro nke elu.

● Nhọrọ mkpuchi mkpuchi CVD na ọrụ enyo enyo maka nkwalite ndụ na ịdị ọcha.

Semixlab SiC Ceramic Crucible na-esetịpụ akara ọhụrụ maka nkwụsi ike ọkụ, ịdị ọcha, na ogologo kemịkalụ na nhazi semiconductor dị elu. Site na nhọrọ imewe ahaziri ahazi, ndụmọdụ teknụzụ na nyocha siri ike tupu mbupu, Semixlab na-ahụ na ngwaahịa ọ bụla na-emezu ihe achọrọ nke ngwa semiconductor dị elu na oke okpomọkụ. Anyị na-atụ anya ajụjụ gị ọzọ.