Ihe mkpuchi graphite Susceptor SiC

The SiC (Silicon Carbide) mkpuchi graphite susceptor bụ ihe dị mkpa maka imepụta semiconductor, ọkachasị na-achọ ngwa okpomọkụ dị ka ntinye epitaxial na MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition).

A na-emezi ihe ndị a na-akpasu iwe ka ha jide ma kpochaa wafer silicon n'ụzọ ziri ezi, na-ahụ maka nkesa otu ọnọdụ okpomọkụ yana gburugburu usoro dị ọcha. Ndị susceptors anyị dị oke mkpa maka imepụta ihe nkiri dị mkpa dị elu, nke edo edo bụ ntọala nke ngwaọrụ semiconductor nwere ntụkwasị obi na arụmọrụ dị elu.

Ⅰ Isi ihe na Njirimara igodo

A na-arụ nke ọma nke ọma site na iji isi graphite dị ọcha yana akwa mkpuchi nke Silicon Carbide (SiC).

Graphite Dị Ọcha: Mkpụrụ graphite na-enye isi nguzosi ike n'ezi ihe na arụmọrụ ọkụ. Nkwụsi ike ya dị mma na-enye ya ohere ịrụ ọrụ na oke okpomọkụ na-enweghị nrụrụ. Igwe ọkụ dị ala nke graphite na-enyere aka kpo oku ngwa ngwa na nke ọma, nke dị mkpa maka oge okirikiri ngwa ngwa na gburugburu mmepụta.

Mkpuchi Silicon Carbide (SiC): A na-etinye mkpuchi SiC na graphite site na CVD (Chemical Vapor Deposition) usoro. Nke a na-emepụta nnukwu elu, nke na-enweghị oghere nke siri ike nke ukwuu na nke na-adịghị agwụ agwụ. SiC na-enye nguzogide dị elu na mbuze plasma na mbuso agha sitere na gas na-eme ihe ike, na-egbochi mmetọ na ọgbọ irighiri ihe. Nke a na-eme ka usoro dị ọcha dị ọcha, gbatịa ndụ akụrụngwa, ma chebe graphite dị n'okpuru site na mmebi.

Ⅱ Uru na-arụ ọrụ na nrụpụta Wafer

Ndị na-ahụ maka eserese eserese SiC anyị na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịhụ na ịdịmma na arụmọrụ nke nrụpụta semiconductor.

● Ịdị mma okpomọkụ na-enweghị atụ: Nhazi nke susceptor, jikọtara ya na ihe ndị na-ekpo ọkụ nke SiC na graphite, na-eme ka a hụ na a na-ekesa ọkụ n'otu n'otu n'ofe dum wafer. Nke a dị oké mkpa maka inweta ọkpụrụkpụ ihe nkiri na-agbanwe agbanwe na ihe onwunwe na-agbanwe agbanwe, nke bụ isi ihe na-eme ka ngwaọrụ dị elu.

● Njikwa mmetọ kacha elu: Ihe mkpuchi SiC na-enweghị porous na kemịkalụ inert na-egbochi ịpụpụ ikuku na mkpofu ihe sitere na mkpụrụ graphite. Nke a na-ebelata nke ukwuu ihe ize ndụ nke mmetọ wafer na ntụpọ, nke bụ ihe ịma aka na-emekarị na usoro okpomọkụ dị elu.

● Ebuliri Ogologo Ogologo na Ogologo Ndụ: Ihe mkpuchi SiC siri ike na-arụ ọrụ dị ka ọta nchebe megide ihe ndị na-emebi emebi na nke na-emebi emebi, na-agbatịkwu ogologo ndụ ọrụ onye susceptor. Nke a na-ebelata ugboro ugboro nke nnọchi ma na-ebelata ụgwọ ọrụ nlekọta n'ozuzu ya.

● Mmegharị usoro dị elu: Site n'inye gburugburu okpomọkụ na kemịkalụ kwụsiri ike ma na-agbanwe agbanwe, ndị na-akpata anyị na-enye ohere maka usoro a na-emegharị ugboro ugboro. Nkwekọrịta a bụ ihe dị mkpa maka nnukwu mmepụta nke ngwaọrụ semiconductor a pụrụ ịdabere na ya.

Na Semixlab, anyị na-agba mbọ ịnye ụlọ ọrụ semiconductor ihe ndị dị oke ọnụ ahịa yana ọrụ nhazi na-enweghị atụ. Anyị na-enye nhazi na nrụpụta omenala zuru oke maka ihe mkpuchi graphite mkpuchi SiC anyị. Ndị otu injinia anyị nwere ike imekọrịta gị ka ịmepụta onye susceptor nke dabara n'ụzọ zuru oke maka nkọwa akụrụngwa gị yana ihe achọrọ usoro pụrụ iche.